▶ 仪器介绍

产品源于中山大学光电材料与技术国家重点实验室，相关技术“达到国际先进产品的水平”，多项研究成果突破国际封锁和技术壁垒。产品技术团队与广东省集成电路工程技术研究中心、广东省绿色电力变换及智能控制工程技术研究中心、中山大学物理学院和中山大学测试中心等单位，以及众多高校和研究单位、相关领域的国内领先企业有着长期紧密的合作关系，在表面分析测试、微弱信号检测、测控系统设计、仪器研发生产等方面具有深厚积累和丰富经验。

▶ 仪器特点

● 可采用基于石英音叉的压电自感知探针（如Akiyama探针）；也可采用传统的激光检测的原子力显微镜探针

● 采用自感知探针可实现频率调制模式的形貌成像和多种测量分析功能，操作简单，测量时样品无激光干扰

● 采用激光检测探针可实现接触和轻敲模式的形貌成像和各种原子力显微镜的测量分析功能

● 采用高精度嵌入式测控系统，主机隔音抗震设计，抗干扰能力强

● 可扩展纳米加工、扫描隧道显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜等各种扫描探针显微镜的常见功能

● 可选配扩展模块接口增强系统功能，可与光学系统完美联用，支持功能定制

▶ 应用领域

● 原子力显微镜的常规实验及研究，如：纳米形貌物性研究、纳米科技教育培训

● 基于压电自感知探针的形貌成像和谱测量分析，如光栅样品、二维材料的频率调制形貌成像

● 基于激光检测型探针的形貌成像和谱测量分析，如软磁盘、光盘、光栅等样品的接触/轻敲模式的形貌成像

● 扫描隧道显微镜（STM），包括形貌成像和隧道谱（需增配STM模块）

● 原子力显微镜与拉曼联用，实现无光环境的物性测量、纳米尺度的拉曼光谱分析（需增配光谱联用模块）

● 基于原子力显微镜的拓展应用领域及实验，包括：纳米加工刻蚀、导电原子力显微镜（C-AFM）、静电力显微镜

（EFM）、磁力显微镜（MFM）等（需增配相应功能模块）

▶ 技术参数