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SE-VE光谱椭偏仪
SE-VE 是一款超高性价比、快速测量光谱椭偏仪,紧凑集成设计,使用简便,可一键快速测量表征各式光学薄膜膜厚以及光学常数等信息。高性价比光学椭偏测量解决方案,紧凑集成化设计,精良用户操作体验,一键快速测量分析,人机交互设计,使用便捷,丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力,广泛应用于科研/企业中各种单层到多层薄膜膜厚以及光学常数等快速表征分析。
产品型号 |
SE-VE光谱椭偏仪 |
主要特点 |
1、采用高性能进口复合光源,光谱覆盖可见到近红外范围 (400-800nm) 2、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集 3、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料 |
技术参数 |
1、自动化程度:固定角 2、应用定位:经济型 3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光谱 4、分析光谱:400-800nm 5、单次测量时间:0.5-5s 6、重复性测量精度:0.05nm 7、光斑大小:大光斑1-3mm 8、入射角调节方式:固定角 9、入射角范围:65° 10、找焦方式:手动找焦 11、Mapping行程:不支持 12、支持样件尺寸:*大至160mm |
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